高速中走丝-传感器的温度特性-仁光智能

高速中走丝，根据这种技术，该公司开发了一系列超敏感和高真空的绝对压力电容式传感器，可测量0.5 Torr(66.5 kPa)以下的压力，分辨力小于10-6 Torr(10-3 Pa)，灵敏度高达35 pF/Torr。该公司还解决了传感器与外界电连接导致空腔密封性变差的问题。除此之外，传感器的温度特性也容易补偿，整体性能优越。

高速中走丝，传感器结构创新，传统的电容式压力传感器属于单端电容式结构，即只有一个电容在发生变化。相关研究证明，差动电容式结构的灵敏度要比单电容结构提高一倍，已经广泛用于普通压力传感器的小量程压力测量。

高速中走丝，为此，沈阳工业大学开展了差动电容式结构的硅差压传感器的研制，中国科学院的王跃林教授在差动结构的基础上提出了一种静电伺服电容式传感器模型，解决了极板间隙过小导致传感器动态范围窄的问题。